- 华爱含氟电子气分析用氦离子色谱仪GC-9560-PDD
详细信息
品牌:华爱 加工定制:是 型号:GC-9560-PDD 氦离子色谱仪适用电子工业用气体中痕量杂质的检测,小检测浓度可达5ppb。仪器配备高灵敏的氦离子化检测器,采用华爱公司的中心切割技术,进样阀均带有吹扫保护气路;整机采用多柱箱设计,并配备进样压力自动校正系统,保证不同底气的样品的进样量。产品先后荣获上海市高新技术成果转化A级项目。
氟的技术指标:
项目 指标 氟(F2)(体积分数)/10-2 ≥ 99 氧(O2)+氮(N2)(体积分数)(N2)/10-2 ≤ 0.45 四氟化碳(CF4)(体积分数)/10-2 ≤ 0.05 氟化氢(HF)(体积分数)/10-2 ≤ 0.5 氟氮混合气的技术指标:
项目 指标 氟(F2)(体积分数)/10-2 20 氮(N2)(体积分数)(N2)/10-2 80 氧(O2)(体积分数)(N2)/10-2 ≤ 0.08 四氟化碳(CF4)(体积分数)/10-2 ≤ 0.03 -
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